[1] 窦 宁.2020年稀土抛光粉市场探求疫情下5G时代的现状与挑战 [J].稀土信息,2020,16(4):28-31. [2] STRZAĿKOWSKA E.Rare earth elements and other critical elements in the magnetic fraction of fly ash from several polish power plants [J].International Journal of Coal Geology,2022,25(3):104-108. [3] 贾世豪,孟凡明,李建军.用于元件抛光的CeO2基复合材料的研究进展 [J].纳米技术,2022,12(1):8-17. [4] 戴蒙姣,陈国美,倪自丰,等.均一亚微米级氧化铈抛光粉的制备 [J].金刚石与磨料磨具工程,2022,42(4):428-432. [5] 杨小海,柳云龙,李 安.铈镧比对铈基抛光粉性质的影响研究 [J].稀有金属与硬质合金,2022,50(4):57-61. [6] 程耀庚,陈建设,魏绪钧.以氯化稀土为原料制备稀土抛光粉的研究 [J].稀有金属与硬质合金,1998,13(1):9-13. [7] WU X,WANG Z,XIA C,et al.Kinetics study on leaching of rare earth and aluminum from polishing powder waste using hydrochloric acid [J].Journal of Rare Earths,2020,38(4):1009-1018. [8] 贾慧灵,徐 阳,吴锦绣,等.制备条件对二氧化铈稀土抛光粉性能的影响 [J].稀土,2022,43(4):37-45. [9] 罗 付,牛新环,张银婵,等.氮化镓化学机械抛光中抛光液的研究进展 [J].半导体技术,2022,47(2):81-86. [10] 周 薇.光学透镜用铈基稀土抛光粉的制备研究 [D].包头:内蒙古科技大学,2020. [11] 翟文杰,杨德重.立方碳化硅CMP过程中机械作用分子动力学仿真 [J].材料科学与工艺,2018,26(3):10-15. [12] 刘 志,王辰伟,周建伟,等.STI CMP中SiO2/CeO2混合磨料对SiO2介质层CMP性能的影响 [J].半导体技术,2022,47(3):865-872. [13] 胡 浩,李 梅,王觅堂,等.球磨法制备铈基稀土抛光粉及其抛光性能研究 [J].稀土,2019,40(5):47-54. [14] HE X,CHEN L,CHEN P,et al.Coordination-enhanced extraction of rare earth metals from waste polishing powder and facile preparation of a mesoporous Ce-La oxide [J].Chemical Engineering Journal,2023,45(2):139-145. [15] 尹雪岭,李 梅,柳召刚,等.碳酸氢铵沉淀法制备氧化铈抛光粉 [J].有色金属(冶炼部分),2011,6(4):43-45. [16] 周新木,王爱勤,李 静,等.高密度碳酸稀土制备超细抛光粉的研究 [J].稀土,2015,10(5):21-25. [17] 黄令漫,郝志庆,萧 桐.共沉淀法制备超细含氟铈基抛光粉 [J].稀土,2016,37(3):100-104. [18] 余宗鹤.硫酸体系碳酸氢镁沉淀制备碳酸稀土过程研究 [D].北京:北京有色金属研究总院,2019. |